齊魯網(wǎng)·閃電新聞10月16日訊 10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目在德州天衢新區(qū)正式通線，項目一期投資25億元，達(dá)產(chǎn)后可實現(xiàn)12英寸拋光片月產(chǎn)10萬片，這也是山東省內(nèi)第一條12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線。
12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右。隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精細(xì)化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來較長時間內(nèi)的主流產(chǎn)品。
“我們能看到的硅片都是圓的，但是我們能看到的集成塊都是長方形的或者是正方形的，最后集成塊要從硅片里邊一個一個做出來，也就意味著硅片最邊緣的這一圈是用不了的，是廢掉的。所以在這個情況之下，硅片的直徑越大，可利用面積的比例就越高。對于每一個集成塊來說，它的成本就會越低。”山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞告訴記者。
大尺寸硅材料是集成電路的基礎(chǔ)材料，也是我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上的薄弱環(huán)節(jié)。12英寸硅片技術(shù)參數(shù)要求比8英寸更高，其中單晶工藝是最為核心的技術(shù)。山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)，實現(xiàn)通線，這對填補山東省集成電路用大尺寸硅片空白、完善全省集成電路產(chǎn)業(yè)格局、補齊山東新材料體系短板有重大意義。
“首先說硅材料是信息產(chǎn)業(yè)，特別是具體的集成電路當(dāng)中一個最重要的功能材料，我們也叫關(guān)鍵材料，12英寸的這個硅片是代表了產(chǎn)業(yè)的最高端的應(yīng)用。批量投產(chǎn)標(biāo)志著我們項目走到了全國的前列。隨著未來的不斷擴容，特別是信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，我相信德州這個地方一定是硅材料一個最重要的基地之一?！敝袊醒锌萍技瘓F有限公司黨委委員、副總經(jīng)理周旗鋼介紹說。
目前，德州天衢新區(qū)依托中國有研“集成電路關(guān)鍵材料國家工程研究中心”，打造了占地800多畝，總投資93.4億元的中國集成電路關(guān)鍵材料（德州）基地，包括8英寸硅片、12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料等七個項目。將成為北方最大的集成電路用大硅片生產(chǎn)基地，使山東省躋身硅材料產(chǎn)業(yè)國內(nèi)第一方陣、靶材產(chǎn)業(yè)遙遙領(lǐng)先。
閃電新聞記者 劉佳 德州臺 王一 王浩 報道
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